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  • 951 次 SDTR一種薄膜面內各向異性熱導率的測量方法 2023-12-21
    DTR一種薄膜面內各向異性熱導率的測量方法近年來,隨著半導體行業的迅猛發展,半導體元件的體積急劇減小,對芯片或薄膜材料的熱物性探究至關重要,這樣給予針對超小尺寸的熱物性探測技術提供了發

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